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化学分析类

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离子溅射仪 MC1000

发布时间：2023-06-09 17:00

采用磁控型电极，最大限度地减轻对样品的损坏。

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产品详情

特点

  • 采用LCD触摸屏，可以更加简便地设定加工条件

  • 可处理较厚或较大的样品(选配件)

  • 记忆功能可存储常用加工条件

规格

项目说明
放电类型磁控二极管放电型(电场垂直于磁场)
电极组成反向平行盘(嵌入磁铁)
电压最大 0.4 kV DC(直流可变)
电流最大 40 mA DC
喷镀速率 *1(最大)
[条件]
压力：7 Pa
放电电流：40 mA
标靶与样品表面之间的距离：20 mm		Pt 靶(选配件)15 nm/min
Pt-Pd 靶(选配件)20 nm/min
Au 靶(选配件)35 nm/min
Au-Pd 靶(选配件)25 nm/min
样品尺寸最大直径φ60 mm
最大高度20 mm
机械泵135/162 l/min (50/60Hz)
靶材*2Pt , Pt-Pd (8:2) , Au , Au-Pd (6:4)
电源要求单相, 100 V AC (±10%) 15 A (50/60 Hz), 3-针插头线缆(3 m)
尺寸宽度450 mm
长度391 mm
高度390 mm
重量主机：约 22 kg
机械泵：约 30 kg

*1喷镀速率仅供参考

*2主机内不包括靶材。请从选项中选择(铂，铂-钯，金，金-钯)。


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