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离子研磨仪 ArBlade 5000

发布时间:2023-06-08 11:45

ArBlade 5000是日立离子研磨仪的高性能机型。
它实现了超高速截面研磨。
高效率截面加工功能,使电镜截面观察时样品加工更简单。

产品详情

特点

截面研磨速率高达1 mm/h*1

新研发的PLUSII离子枪发射出高电流密度离子束,大幅提高*2了研磨速率。

*1Si突出遮挡板边缘100 µm,1个小时最大加工深度

*2研磨速率是本公司产品(IM4000PLUS:2014生产)的2倍

截面研磨结果对比
(样品:自动铅笔芯、研磨时间:1.5小时)

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本公司产品IM4000PLUS                                   ArBlade 5000

最大截面研磨宽度可达8 mm!

使用广域截面研磨样品座,加工宽度可达8 mm,十分适用于电子元件等的研磨。

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复合型研磨仪

全新的复合型(截面研磨、平面研磨)离子研磨仪广受好评。
可根据需求对样品进行前处理。

截面研磨

切割或机械研磨难以处理好的软材料或复合材料的截面制作

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截面研磨加工示意图



平面研磨

机械研磨后样品的精修或表面清洁

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平面研磨加工示意图


规格

通用
使用气体Ar(氩)气
加速电压0~8 kV
截面研磨
最快研磨速率(材料Si)1 mm/hr*1以上含 1 mm/hr*1
最大研磨宽度8 mm*2
最大样品尺寸20(W) × 12(D) × 7(H) mm
样品移动范围X ±7 mm、Y 0~+3 mm
离子束间歇加工功能标准配置
摆动角度±15°、±30°、±40°
平面研磨
最大加工范围φ32 mm
最大样品尺寸φ50 × 25(H) mm
样品移动范围X 0~+5 mm
离子束间歇加工功能标准配置
旋转速度1 r/m、25 r/m
倾斜角度0~90°

*1Si突出遮挡板边缘100 µm,1个小时最大加工深度

*2使用广域截面研磨样品座时

选配

项目内容
高耐磨遮挡板耐磨遮挡板是标准遮挡板的2倍左右(不含钴)
加工监测用显微镜放大倍率 15×~100× 双目型、三目型(可加装CCD)


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