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热场式场发射扫描电镜 SU5000

发布时间:2023-06-06 10:33

操作高效便捷
创新的“EM Wizard”界面更加直观,仅需要“点击”即可得到理想的图像。
超前的电脑辅助技术将电镜的操作与控制提升到一个新水平。

产品详情

特点

高性能电子光学系统

  • 二次电子分辨率: 顶位二次电子探测器(2.0 nm at 1kV)

  • 高灵敏度: 高效PD-BSD, 超强的低加速电压性能,低至100 V成像

  • 大束流(>200 nA): 便于高效微区分析

性能优异

  • 压力可变: 具有优异的低真空(10 -300 Pa)成像性能,配备高灵敏度低真空探测器(UVD)

  • 开仓室快速简单换样(最大样品尺寸: Φ 200 mm x 80 mmH)

  • 微区分析: EDS, WDS, EBSD等等

*选配附件

规格

项目内容
分辨率1.2 nm @ 30 kV
3.0 nm @ 1 kV
2.0 nm @ 1 kV 减速模式*1
3.0 nm @ 15 kV 低真空模式*2
放大倍率10 - 600,000× (底片倍率), 18 - 1,000,000× (800 × 600 像素)
30 - 1,500,000× (1,280 × 960 像素)
电子光学系统电子枪ZrO /W 肖特基式电子枪
加速电压0.5 - 30 kV (0.1 kV 步进)
着陆电压减速模式: 0.1 - 2.0 kV *1
最大束流> 200 nA
探测器低位二次电子探测器
低真空模式*2真空范围: 10 - 300 Pa
马达台马达台控制5 - 轴自动 (优中心)
可动范围X:0~100mm
Y:0~50mm
Z:3~65mm
T:-20~90°
R:360°
最大样品尺寸最大直径: 200 mm
最大高度: 80 mm
选配探测器
  • 高分辨率顶位二次电子探测器*1

  • 高灵敏度低真空探测器 (UVD)

  • 5分割半导体探测器 (PD-BSD)*3

  • 能谱仪 (EDS)

  • 波谱仪 (WDS)

  • 背散射电子衍射探测器 (EBSD)

*1:减速功能(包含高分辨率顶位二次电子探测器)

*2:低真空功能(包含5分割半导体探测器)

*3:空压机(本地采购)

应用实例

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样品: 氧化锌粉末                                                           样品: PTFE
着陆电压: 1 kV ; 倍率: 120,000x                                   加速电压: 3 kV ; 倍率: 13,000x
低电压下顶位二次电子探测器成像                                UVD探测器可在低加速电压(3 kV)和低真空

                                                                                     (40 Pa) 下获得高质量图像


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